高分辨X射线三维显微CT系统
来源:科技发展处 发布时间: 2021-09-15
高分辨X射线三维显微CT系统是具有超高分辨率的无损伤三维全息显微成像设备。该类设备是采用不同角度X光显微成像技术,形成一系列样品透视图,再结合计算机三维数字解析和重构技术,得到样品内部结构的高分辨率三维数字图像。通过可扩充软件,实现样品内部亚微米尺度缺陷、孔隙率统计以及样品高精度尺寸测量、局部虚拟剖切测量等功能。
海水淡化技术研究室近期购置的高分辨X射线三维显微CT系统(图1),采用最先进的德国X光源和美国成像系统,并集成精度0.5μm的控制定位系统,可兼顾材料微观分析和样品宏观尺寸精确测量两方面需求,最高空间分辨率可达0.5μm,对工件结构尺寸的测量精度可达(5+L/100)μm,其中L为工件最大外形尺寸(单位为mm)。该设备的工业应用广泛,但在海水淡化中方面应用尚处于起步阶段,目前可进行金属和非金属样品的内部亚微米缺陷、孔隙结构分析以及复杂工件内外部结构高精度测量、非标加工件尺寸精确复核等,后续还要根据科研需求开发更多新功能。图2是设备的实物图和测试案例。