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扫描电子显微镜—观察微观世界的“放大镜”

来源:科技发展处    发布时间: 2020-08-11


   扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察手段。它是用细聚焦的高能电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生二次电子(SE)、背散射电子(BSE)等信号,这些信号来自样品的特定发射区域,并随表面形貌的不同而变化。通过对这些物理信号收集、放大、再成像可以获得样品表面或断面的形貌信息。现在SEM都能跟能谱(EDS)联用,对样品成分进行定性和半定量分析。SEM是显微结构分析的主要仪器,已经广泛应用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。
   膜分离材料的微观结构决定了其宏观性能,对膜表面微观形貌的分析是高性能膜材料研发的基础。膜技术与应用研究室近期购置了一台配有EDS的台式SEM(图1),最高可放大到30万倍。该SEM配备SE和BSE两种探头,可分别针对材料的立体形貌、元素二维分布进行观测。图2是该设备拍摄的RO膜表面形貌及元素成分。另外,针对非导电样品,该设备可以在低真空度下进行拍摄。


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