大型仪器设备系列展示 环境扫描电子显微镜
来源：海水之光 发布时间： 2009-08-17
随着我所“中央级科学事业单位修缮购置专项资金项目”的实施，申购的各类大型仪器设备已陆续到位。为了提高仪器设备的使用效率，进一步促进大型仪器设备的开放共享，我们将定期向大家介绍新进大型仪器设备，以增进大家对新购仪器设备的了解。那么，就先从环境扫描电子显微镜开始吧。
环境扫描电子显微镜（Environmental scanning electron microscopy，简称ESEM）是近年发展起来的新型扫描电镜，扫描电镜+X射线能谱是各类材料超微结构分析和微区定性、定量成分分析的常用分析仪器，适用于生物和环境样品的分析。与常规扫描电子显微镜（SEM）的区别主要在样品室部分。所谓“环境”是指气体环境，可给样品室充不同气体。因此，潮湿的样品不会失去水分和变形，能保证样品室有高气压的环境；使不导电的样品不经表面处理而直接观察成为可能，对于含水的样品不会很快地失去水分和变形；能够不经冷冻制样而直接观察其原来的自然形貌。ESEM现广泛应用于地质、冶金、化工、玻璃、陶瓷、金属、半导体、新型材料、生物、医疗、考古、珠宝、形侦、国防及纳米材料领域。
我所购置的是美国FEI公司生产的Quanta—200型ESEM，目前放置在检测中心117电镜室。现环扫配置了X射线能谱仪、离子溅射仪、真空蒸镀仪、Peltier冷台、加热样品台等附件，可用于各种材料的表面组成、断面、细微结构、晶体结构以及缺陷的进行精确、快速、无损的观测分析，目前已经开展了硼酸镁晶须、硫酸钙晶须、聚丙烯微滤膜丝等近30个样品的形貌分析检测。
